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大氣等離子清洗設備
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脈沖直流等離子電源供應器
摘要
產品型號：PI01 適用于太陽能電池制程，對太陽能矽晶片之邊緣做刻蝕
產品介紹
等離子干法刻蝕機
．專利設計之特殊等離子電極
．高密度等離子源
．處理速度快，產能高，可靠度高
．操作范圍廣
．全自動且容易操作
．設備穩定度高，容易維護
．可依客戶需求作更改
應用行業：
．太陽能電池
．太陽能矽晶片邊緣做刻蝕
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